日立グループの一員である日立ハイテクは、半導体製造装置や医療機器など幅広い分野で、付加価値の高いハイテク・ソリューションを提供。先進の技術と製品で、社会の発展に貢献しています。中でも検査機器は精度が高いだけでなく、多様な検査に対応しており、品質管理や研究開発で重要な役割を果たしています。
日立ハイテクの検査機器は、半導体製造や材料分析、部品検査など、製造現場の幅広い分野で活用されています。特に半導体製造分野では、製品の微細化が進んだことでより高い精度での検査が求められるようになっており、微細な欠陥でも高い精度で検出できる技術を持つ日立ハイテクの機器が大きな力を発揮しています。
ウェーハの表面検査装置のうち、パターン形成前のウェーハ上の微小な異物やキズなどの欠陥を検出するのがLSシリーズです。
不良の原因となるシャロースクラッチやウォーターマークなどの欠陥を、レーザー散乱応用技術による高感度の検査で検出します。
製品の歩留まりを下げる要因となるウェーハの異常をできるだけ早く検知したいという半導体メーカーのニーズに応えるのが、高い欠陥検出性能を持つDI4600です。
シートビームによるウェーハ全面の高速検査などの高い欠陥検出性能と、高スループット化を両立しています。
SiC（炭化ケイ素）バルクウェハの加工ダメージなどの結晶欠陥を、電子線による非破壊検査で可能にしたのがVM1000です。
直径75ミリから150ミリの複数のウェーハ口径に対応し、出荷検査にも活用可能。次世代パワーデバイス用のウェーハ開発をサポートします。
表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。
日立ハイテクは、日立グループの技術力を背景に、半導体製造装置や医療機器など幅広い分野で先進的なソリューションを提供しています。特に表面欠陥検査装置では、多様な対象と欠陥に対応し、品質管理や研究開発を支えています。
レーザー散乱応用技術による高感度検査や、高速かつ高スループットを両立した装置、さらには電子線を用いた非破壊検査など、多彩な製品ラインナップを展開。微細化が進む半導体分野においても、その高精度検査技術が大きな力を発揮しています。
当サイトでは検査装置選定で重要となる「検査対象別」におすすめしたい企業3選をまとめています。貴社求める導入効果を見極めた選択の参考としてください。
| 本社所在地 | 東京都港区虎ノ門1-7-1 虎ノ門ヒルズビジネスタワー |
|---|---|
| 設立 | 1947年4月 |
| 問合せ先 | 03-3504-7111 |
| 公式サイト （製品ページ） |
https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/ （https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/products/semiconductor-manufacturing/cd-sem/inspection-solution/） |
