アテルは、液晶の製造で使われるウェーハを搬送するためのクリーンロボットに代表される搬送装置や、半導体の検査装置を製造・販売しています。半導体の検査では、既存の装置では検出できなかったり、装置があっても導入が難しいため目視で行っている検査を自動化する「どこにもない装置」の製品化を目指します。
アテルは、ウェーハ表面の異物・キズのほか、パターン異常や十字クラック、メッキ剥げなどさまざまな欠陥を自動で検出する装置を提供します。従来は人の目に頼ってきた検査の自動化を可能にしており、検出が難しいとされる裏面のクラックやアルミグレイン上の針痕・キズなどにも対応できます。必要な機能に絞り、コストパフォーマンスの高いシステムを実現します。
特殊な光学装置による検査と画像処理により、ウェーハの結果を自動的に検出する装置です。
ウェーハの裏表両面について、異物やキズ、外周のチッピング（欠け）などを自動的に検出。
ウェーハの表面の検査では、インクやレーザーによるマーキング異常なども検出します。
顕微鏡と電動ステージで構成されるレビューユニット上でウェーハをレビューする装置です。ウェーハがロードされると、レビューユニットはあらかじめ登録された座標に自動で移動し、接眼レンズやモニター画面によりレビュー。合否判定の画面表示が可能です。
目視で実施する「マクロ検査」と、顕微鏡によって行う「ミクロ検査」の二つの検査ユニットで構成されています。マクロ検査ではウェーハの裏表両面の目視検査ができ、あらかじめ設定した角度だけでなく、ジョイスティックによる操作で任意の角度からの目視検査もできます。
表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。
光学フィルム・樹脂・保護フィルムなど
表面欠陥検査装置カスタマイズ事例を見る
アテルは、半導体や液晶製造で使用されるウェーハ検査を得意とし、従来は目視に頼っていた難しい検査を自動化する「どこにもない装置」の開発を進めています。薄ウェーハや透明ウェーハなど特殊条件にも対応し、幅広い欠陥を検出可能です。
自動欠陥検査装置やレビュー装置、マクロ・ミクロ検査装置など、多様なラインナップを展開し、裏面クラックやマーキング異常といった検出困難な欠陥にも対応。必要な機能に絞り込むことで、コストパフォーマンスの高い検査システムを実現しています。
当サイトでは検査装置選定で重要となる「検査対象別」におすすめしたい企業3選をまとめています。貴社求める導入効果を見極めた選択の参考としてください。
| 本社所在地 | 広島県福山市箕島町4817-9 |
|---|---|
| 設立 | 2004年4月 |
| 問合せ先 | 084-971-7010 |
| 公式サイト （製品ページ） |
https://atel-corp.co.jp （https://atel-corp.co.jp/products/） |
