表面欠陥検査装置メーカーNavi～SurfEYE

クリーンロボットに代表される搬送装置や半導体検査装置の製造・販売するアテルの表面欠陥検査装置は、ウェーハ表面の異物・キズのほか、パターン異常や十字クラックなどさまざまな欠陥を自動で検出。必要な機能に絞ったコストパフォーマンスの高さも特徴です。

アメテックはシート状製品の欠陥検査やモニタリングのための製品に特化。独自開発の検査プラットフォームを採用しており、品質安定と生産性向上のためのソリューションを提供。金属や紙パルプ、フィルム、ガラスなど幅広い素材に対応しています。

アヤハエンジニアリングは、製品サイズや検出したい欠陥に合わせたさまざまな欠陥検出装置を提供しています。微細な傷や異物、欠陥などをミクロン単位の精度で検出することができる上、高速の生産ラインにも対応可能なことが大きな利点です。

オートメーションのリーディングカンパニーとして幅広い製品を提供しているオムロン。表面欠陥検査装置は、光の波長の違いなどを捉える手法で安定した検出・判別を実現。AI技術も組み合わせ、生産性と品質の向上に貢献しています。

クボタは、「食料・水・環境」をテーマに農業機械や産業機材などを幅広く製造しています。表面欠陥検査装置は、長年培ってきた光・画像・精密機械の粋を集めており、レーザー式や画像式、ハイブリッド式の装置で課題解決に貢献します。

祖業がばね製造のタカノは、金属加工技術を基盤として、福祉・医療機器やオフィス家具など幅広く事業展開。表面欠陥検査機器は、スリット光を活用したユニークな光学系を採用、独自アルゴリズムでノイズを低減させ、微細な傷・異物も高精度に検出します。

主に押出成形品の製造ラインにおける品質管理を担う製品を製造しているタキカワエンジニアリングは、柔らかい素材や透明素材にも対応している表面欠陥検査機器を提供。接触することなく表面上の欠陥を高い精度で検査します。

自動化装置などFA事業、太陽光発電のエコシステム事業、企業の支援をするサービス事業を三本柱として、さまざまな製品を提供しているティ・アイ・エス。印刷物や段ボールを対象に、異物や欠陥などの検査を実施する表面欠陥検査装置を提供しています。

テイマーは、ワイヤーやケーブルなど連続物向けの表面欠陥検査システムや測長器などを製造しているカナダの企業です。表面欠陥検査システムは、機械学習や高速カメラを活用し、異物やピンホールなどの傷を高い精度で検出できるのが特徴です。

ニレコは幅広い産業に不可欠な調整・制御機器の開発・製造のほか、各種の検査機器を取り扱っています。表面欠陥検査装置は、画像処理と分解能により、高速で精度の高い検査が可能。高機能フィルムや金属、紙などさまざまな材質の物を対象にできます。

韓国の水原市に本社を置くパークシステムズは、ナノスケールの顕微鏡や計測ソリューションを幅広く提供しています。表面欠陥検査装置は、解像度が非常に高い原子間力顕微鏡により細かい構造や欠陥を把握でき、精密測定で3次元での形状再現を可能にします。

太平洋セメント株式会社のシステム部門が独立し、システムの開発・運用・管理を幅広い分野で担ってきたパシフィックシステム。顧客のニーズに応じてカスタマイズした表面欠陥検査装置を提供しており、コントラストの低いムラも検出できる精度が特徴です。

シート表面の検査装置やX線式厚さ計の開発・製造を手がけているヒューテック。表面欠陥検査装置はフィルムなどに適した無地面検査装置と、印刷物に適した印刷面検査装置があり、いずれも品質安定と効率向上に貢献します。

フロンティアシステムは、30年にわたって表面欠陥検査システムを開発。その実績と技術力を基に、ラインセンサカメラを活用した無地面表面検査装置を開発・製作しています。独自のアルゴリズムを導入した画像処理による高速・高精度の検出が可能です。

光学フィルムや高性能フィルムの検査に幅広く使われる光学式表面検査装置を提供。目視では検出が難しい微細な欠陥も、独自の欠陥強調テクノロジーにより安定して検出可能です。AIを活用した画像解析機能により、細分化した分類もできます。

Dr.Schenkは、光学検査装置や測定ソリューションを開発・製造・販売している、ドイツのハイテク企業です。ウェブ（連続物）に特化した表面欠陥検査のソリューションを提供。高速のラインセンサカメラにより、肉眼では見つけにくい微細な欠陥も検出可能です。

東芝グループのデジタル領域を担う東芝デジタルソリューションズは、高度な画像処理とAIを駆使した表面欠陥検査装置を提供。画像フィルタリング処理により、薄汚れや色ムラといったコントラストの低い欠陥も検出可能で、結果は帳票データで管理できます。

1968年創業の日本レーザーは、専門商社として国内外のさまざまな表面欠陥検査装置を輸入・販売しています。顧客のニーズに応じて、的確にソリューションを提供してくれる企業です。

中央電機計器製作所は、多様な検査ニーズに応える製品ラインナップが特徴です。AI技術を活用したソフトウェアも開発しており、金属加工品から樹脂成形品まで、様々な対象物の高精度な外観検査を実現します。

朝日測器の検査装置は、不織布や透明素材など多様な対象に対応し、低コントラストの薄汚れや微小欠陥を検出可能です。高精度・高速検査を実現し、独自の3次評価方式で安定した検出を行うなど「IMAGE8000.DHV」があります。

ミニヤ・ファクトリィは、カプセル剤や健康食品の製造ラインに向けた専用機を開発。シンプルで低コストな目視検査機「MMシリーズ」により、全周検査を可能にし、目視検査の効率化と精度向上を強力にサポートします。

世界導入実績20,000台を誇るマシンビジョン技術のスペシャリスト。2Dと3Dを融合した外観検査装置や、ライン全体を一元管理するソフトウェアにより、基板製造プロセスの品質向上と効率化を強力に支援します。

スクリーンマスクや微細加工部品の検査に特化。デジタル高精細カメラによる拡大表示で目視検査を支援する手動・半自動機から、完全自動検査装置まで、現場のニーズに合わせたソリューションを提供します。

半導体後工程のトータルソリューションプロバイダー。独自のオートフォーカス技術を搭載した圧痕検査装置により、液晶パネル実装部の微細な接続不良や異物を高速・高精度に検出します。

産業用画像処理や光学設計技術を強みにしている光学・電子機器メーカーです。光学ガラスの目視検査ノウハウや実績をもとに、画像データ化し、独自画像処理アルゴリズムで表面欠陥検査の効率化を図ります。

丸文の表面欠陥検査装置は、各種ウェハや基板材料に対して、高速かつ高精度な外観検査と形状計測を実現可能です。広い検査エリアを短時間で確認しながら、微細なクラックや傷、凹凸、反り・厚みムラといった品質異常を非接触で捉えることができます。取得した検査データは工程分析や原因特定にも活用可能。装置構成の自由度が高く、手動検査から自動化ラインまで柔軟に対応できます。

自社展開する「inrevium」ブランドでは、SiやSiCをはじめ、パターン付きウェーハやマスクブランクスなど多様な対象に対応する表面欠陥検査装置をラインアップ。高速かつ安定した検査性能により、微細欠陥の検出と効率的な検査運用を両立できる点が魅力です。表面・裏面・端面を一括で検査できる構成や、条件設定・データ管理の柔軟性により、開発段階から量産工程まで幅広い品質管理体制の構築に貢献します。

ダイトロンの表面欠陥検査装置は、製造現場で求められる検出精度と作業効率を両立する検査ソリューションです。ウェーハ全体を素早く確認できる高速検査と、欠陥部のみを詳細に観察できる解析機能を組み合わせることで、微細な異常も見逃しにくい構成となっています。検査結果は画像データとして管理できるため、品質の見える化や不良傾向の把握にも有効です。多様な基板材料やサイズに、柔軟に対応できます。

東邦インターナショナルは、線材・ケーブル分野を中心に海外メーカーの検査・測定装置を提供する専門商社です。表面欠陥検出装置では、高速ラインに対応したインライン検査装置や、極細線向けの高感度検査装置など、用途に応じた製品を取り扱っています。傷や異物などの表面欠陥をリアルタイムで検出し、品質管理データとして活用可能。装置選定から導入支援まで一貫して対応できる提案力が強みです。

独自の光学設計により、複雑な形状や透明体の検査にも対応できる柔軟性が魅力です。誤検知を抑制するノイズキャンセル機能や、現場のスペースに合わせた分離型センサなども展開しています。目視検査を超え、確実な欠陥検出を求める現場にとって有力な選択肢となるメーカーです。

オプセルは、光学系と光走査技術を強みに装置開発を行う企業です。レーザのラスター走査と共焦点光学系を組み合わせた「超広視野レーザ走査イメージャ」により、顕微鏡やCCDカメラでは手間がかかりやすい広範囲の観察を、高精細な画像化と欠陥検出まで同じ流れで進めやすい点が特徴。透明体や金属表面で課題になりやすいコントラスト不足、ライン照明のムラを抑えたい場合の選択肢として検討できます。

大橋電器は、ワイヤーハーネス製造で培った現場視点を背景に、AI搭載画像検査装置を展開しています。タッチパネルで製品ごとの設定やプログラム登録・呼出しができ、検査条件の切替をスムーズにできる点が特徴。AIトリガによりタイミングセンサ不要で検出できる設計や、OK品1枚で登録できる学習機能など、立上げのしやすさと運用性を重視した提案が中心です。端子未挿入や欠品の検出に加え、色判別・文字読み取り・外観判定にも対応します。

高度技術研究所（RIAT）は、光計測技術をベースに独創的な技術・システムの創生を目指す研究開発型企業です。レーザ光の干渉性・指向性を活かした“光アナログ画像処理”の考え方を核に、計算機処理だけに頼らず高速に欠陥をあぶり出す発想が特徴。COF/TABなど光透過型電子基板を対象に、良品との差分を光学的に作って欠陥像を抽出する方式を紹介しており、オンライン検査を視野に入れた提案も行っています。プリント基板外観検査装置「Tiger Eye」などの情報も公開されています。

三菱電機はFA分野で外観・表面検査の仕組みを提供しており、撮像デバイスとAI判定を組み合わせた現場導入のしやすさが特徴です。表面検査用の密着イメージセンサ（CIS）は光源・レンズ・センサ一体型で長尺の画像を取得しやすく、キズ・汚れ・欠損・色味・位置などの検知に活用可能。外観検査ソフト「MELSOFT VIXIO」はプログラミングレスで検査フローを組み立てやすく、少ない画像でのモデル生成支援や、検査結果の保存によるトレーサビリティ向上も訴求しています。

ジャステムはシリコンウェーハの表裏面を検査する「ACI-02型」をはじめ、新素材や特殊形状に対応した装置を開発しています。技術者集団として、開発段階から伴走する提案力が魅力です。生産性向上とDXを推進する現場の有力なパートナーとなります。

山下電装は、古来の「魔鏡」の原理を応用し、鏡面ウエハーやガラス基板の全表面を瞬時に可視化する「表面欠陥検査装置」を提供しています。培った光と電源の技術を融合させるメーカーとして、先端技術の研究開発から量産ラインまで幅広く顧客の課題解決に伴走します。

半導体ウェーハの外観検査分野を中心に事業を展開し、独自の良品学習アルゴリズム（DSI比較法）を搭載した光学式ウェーハ外観検査装置「INSPECTRA®シリーズ」を提供しています。前工程から後工程まで、高速かつ高感度な全数自動検査に対応可能です。

ウエハ表面のパーティクル（微粒子）検査に特化した装置メーカーです。主力製品の「ウエハ表面パーティクルスキャナ」は、シリコンなどの不透明ウエハからガラスやサファイアなどの透明ウエハまで対応し、量産ラインでの品質管理を強力にサポートします。