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表面欠陥検査装置の選び方

ナガセテクノエンジニアリング

国内外にエンジニアリング技術を中心とするソリューションを提供しており、表面欠陥検査システムは1992年に研究をスタート。インライン高速表面欠陥検査装置のSCANTECシリーズは多彩な機能を備えており、欠陥を高い精度で検出します。

ダックエンジニアリング

創業時から画像処理技術の研究開発と応用を積み重ねてきたダックエンジニアリングは「画像処理技術で社会に貢献する」が合い言葉。視覚情報をデジタル化、独自開発のAI技術と融合させ、不良品を作らない「攻め」の品質管理を提案します。

日立ハイテク

日立ハイテクが提供する欠陥検査装置は、半導体製造装置や医療機器など幅広い分野で活用されています。微細な欠陥でも高い精度で検出できる能力があり、ウェーハの表面検査装置は、レーザー散乱応用技術で好感度の検査を実現しています。

アテル

クリーンロボットに代表される搬送装置や半導体検査装置を製造・販売するアテルの表面欠陥検査装置は、ウェーハ表面の異物・キズのほか、パターン異常や十字クラックなどさまざまな欠陥を自動で検出。必要な機能に絞ったコストパフォーマンスの高さも特徴です。

アメテック

アメテックはシート状製品の欠陥検査やモニタリングのための製品に特化。独自開発の検査プラットフォームを採用しており、品質安定と生産性向上のためのソリューションを提供。金属や紙パルプ、フィルム、ガラスなど幅広い素材に対応しています。

アヤハエンジニアリング

アヤハエンジニアリングは、製品サイズや検出したい欠陥に合わせたさまざまな欠陥検出装置を提供しています。微細な傷や異物、欠陥などをミクロン単位の精度で検出することができる上、高速の生産ラインにも対応可能なことが大きな利点です。

オムロン

オートメーションのリーディングカンパニーとして幅広い製品を提供しているオムロン。表面欠陥検査装置は、光の波長の違いなどを捉える手法で安定した検出・判別を実現。AI技術も組み合わせ、生産性と品質の向上に貢献しています。

クボタ

クボタは、「食料・水・環境」をテーマに農業機械や産業機材などを幅広く製造しています。表面欠陥検査装置は、長年培ってきた光・画像・精密機械の粋を集めており、レーザー式や画像式、ハイブリッド式の装置で課題解決に貢献します。

タカノ

祖業がばね製造のタカノは、金属加工技術を基盤として、福祉・医療機器やオフィス家具など幅広く事業展開。表面欠陥検査機器は、スリット光を活用したユニークな光学系を採用、独自アルゴリズムでノイズを低減させ、微細な傷・異物も高精度に検出します。

タキカワエンジニアリング

主に押出成形品の製造ラインにおける品質管理を担う製品を製造しているタキカワエンジニアリングは、柔らかい素材や透明素材にも対応している表面欠陥検査機器を提供。接触することなく表面の欠陥を高い精度で検査します。

ティ・アイ・エス

自動化装置などFA事業、太陽光発電のエコシステム事業、企業の支援をするサービス事業を三本柱として、さまざまな製品を提供しているティ・アイ・エス。印刷物や段ボールを対象に、異物や欠陥などの検査を実施する表面欠陥検査装置を提供しています。

テイマー社

テイマーは、ワイヤーやケーブルなど連続物向けの表面欠陥検査システムや測長器などを製造しているカナダの企業です。表面欠陥検査システムは、機械学習や高速カメラを活用し、異物やピンホールなどの傷を高い精度で検出できるのが特徴です。

ニレコ

ニレコは幅広い産業に不可欠な調整・制御機器の開発・製造のほか、各種の検査機器を取り扱っています。表面欠陥検査装置は、画像処理と分解能により、高速で精度の高い検査が可能。高機能フィルムや金属、紙などさまざまな材質の物を対象にできます。

パーク・システムズ・ジャパン

韓国の水原市に本社を置くパークシステムズは、ナノスケールの顕微鏡や計測ソリューションを幅広く提供しています。表面欠陥検査装置は、解像度が非常に高い原子間力顕微鏡により細かい構造や欠陥を把握でき、精密測定で3次元での形状再現を可能にします。

パシフィックシステム

太平洋セメント株式会社のシステム部門が独立し、システムの開発・運用・管理を幅広い分野で担ってきたパシフィックシステム。顧客のニーズに応じてカスタマイズした表面欠陥検査装置を提供しており、コントラストの低いムラも検出できる精度が特徴です。

ヒューテック

シート表面の検査装置やX線式厚さ計の開発・製造を手がけているヒューテック。表面欠陥検査装置はフィルムなどに適した無地面検査装置と、印刷物に適した印刷面検査装置があり、いずれも品質安定と効率向上に貢献します。

フロンティアシステム

フロンティアシステムは、30年にわたって表面欠陥検査システムを開発。その実績と技術力を基に、ラインセンサカメラを活用した無地面表面検査装置を開発・製作しています。独自のアルゴリズムを導入した画像処理による高速・高精度の検出が可能です。

メック

光学フィルムや高性能フィルムの検査に幅広く使われる光学式表面検査装置を提供。目視では検出が難しい微細な欠陥も、独自の欠陥強調テクノロジーにより安定して検出可能です。AIを活用した画像解析機能により、細分化した分類もできます。

Dr. Schenk GmbH

Dr.Schenkは、光学検査装置や測定ソリューションを開発・製造・販売している、ドイツのハイテク企業です。ウェブ(連続物)に特化した表面欠陥検査のソリューションを提供。高速のラインセンサカメラにより、肉眼では見つけにくい微細な欠陥も検出可能です。

東芝デジタルソリューションズ

東芝グループのデジタル領域を担う東芝デジタルソリューションズは、高度な画像処理とAIを駆使した表面欠陥検査装置を提供。画像フィルタリング処理により、薄汚れや色ムラといったコントラストの低い欠陥も検出可能で、結果は帳票データで管理できます。

日本レーザー

日本レーザーは、1968年創業でレーザーと光関連製品を取り扱っている専門商社です。国内外問わず、さまざまな装置を販売しています。技術提案力もあり、導入支援やニーズに応じたソリューションなどを提供しています。

中央電機計器製作所

中央電機計器製作所は、長年培った計測制御技術と画像処理技術を強みとするメーカーです。電子部品の微細な欠陥から超大型ワークの表面検査まで、幅広い対象に対応する検査装置を提供しています。顧客の課題に合わせた柔軟なカスタマイズが可能です。

朝日測器

株式会社朝日測器は、1976年創業の表面検査装置・画像処理装置の専門メーカーです。フィルム、鉄鋼、製紙など多様な業界向けに、素材の品質管理ニーズに応える製品を設計・開発しています。

ミニヤ・ファクトリィ

ミニヤ・ファクトリィ有限会社は、昭和40年の創業以来、食品・医療業界向けの専用機設計・製作を手掛ける装置メーカーです。社内完全一貫生産体制を強みに、カプセル剤や錠剤の検査・選別工程を効率化するシンプルで使いやすい装置を提供しています。

ジュッツジャパン

株式会社ジュッツジャパンは、全世界で20,000台以上の販売実績を持つFA機器メーカー「JUTZEグループ」の日本法人です。マシンビジョン技術を核に、実装基板の3D外観検査装置やレーザーマーカーなどを自社一貫開発。高速・高精度な検査とデータ連携で製造現場を支えます。

マイクロ・システム

株式会社マイクロ・システムは、スクリーンマスクや電子部品検査装置の開発・販売を行う千葉県浦安市の企業です。微細パターンの目視検査を効率化する半自動装置や、特定の用途に特化した自動機など、顧客視点での製品開発に定評があります。

ヤマハロボティクス

ヤマハロボティクス株式会社は、ヤマハ発動機グループの技術と、新川・アピックヤマダ・PFAの統合により誕生した半導体・電子部品実装の総合メーカーです。プロセス全体を見据えた技術力で、特にFPD実装工程における高精度な圧痕検査ソリューションを提供しています。

仲久

株式会社仲久は、産業用画像処理や光学設計技術を得意とし、レンズ加工・検査ノウハウがある企業です。職人の技術を再現したロボットによる、光学ガラスの表面検査などに対応しています。既存の環境を大きく変えることをせず、追加できる点も魅力です。

丸文

丸文の表面欠陥検査装置は、ガラスやシリコン、化合物ウェハを対象に、広エリアの高速検査からナノレベルの微小欠陥検出、厚み・反りなどの形状計測まで一貫して対応できる点が強みです。非接触・高精度な検査により歩留まり向上や不良流出防止に貢献し、検査データの活用による工程改善も期待できます。マニュアル機から全自動機まで柔軟に構成でき、既存ラインにも導入しやすいことから、品質管理体制を効率的に強化できるソリューションといえます。

東京エレクトロンデバイス

東京エレクトロンデバイスは、半導体分野を中心に検査・計測機器や組込み製品を展開する技術商社です。自社ブランド「inrevium」では、Si・SiCウェーハやパターンウェーハ、マスクブランクスなどに対応した表面欠陥検査装置を提供しています。高速処理と高感度検出を両立し、表面・裏面・エッジを1台で検査できるのが強み。検査条件の設定やデータ管理、カスタマイズにも柔軟に対応でき、研究開発から量産工程まで幅広い品質管理ニーズを支援します。

ダイトロン

ダイトロンは、エレクトロニクス分野を中心に事業を展開する技術系商社・メーカーです。電子部品や半導体関連製品、製造・検査装置、産業用システムなど幅広い分野を手がけ、製品提供だけでなく課題解決型の提案力を強みとしています。レーザー式と画像式を組み合わせた検査技術により、ウェーハ全面を高速かつ高精度に検査できるのが強みです。レーザー検査で微小な異物やキズを効率よく検出し、検出箇所を高倍率で観察・解析することで、欠陥の形状や種類を的確に把握できます。

東邦インターナショナル

東邦インターナショナルは、ワイヤーやケーブルをはじめとする線材分野向けに、海外製の検査・測定装置を提供する専門商社です。表面欠陥検出装置では、テイマー社およびCERSA-MCI社の製品を取り扱い、生産ライン上で使用できる高速対応モデルや、極細線を対象とした高精度検査装置などを取り揃えています。表面の傷や異物付着を自動で検出し、検査結果をデータ化することで品質管理の効率化を実現。用途や現場条件に応じた装置提案から導入サポートまで対応できます。

大石測器

大石測器は、静岡県浜松市に拠点を置く産業用検査機器メーカーです。光やレーザー、画像処理技術を駆使した「非接触検査」に強みを持ち、製品を傷つけることなく微細なキズや形状不良を検出します。線材やパイプなど多様な素材に対応し、現場の品質管理をサポートする製品が豊富です。

オプセル

光学系と光走査技術に強みを持つ開発指向型企業です。レーザのラスター走査×共焦点光学系で広範囲を高精細に画像化できる「超広視野レーザ走査イメージャ」を展開し、フィルムやガラス、金属表面など多様な対象の微小欠陥検出をサポートします。

大橋電器

ワイヤーハーネス製造で培った現場視点を背景に、AI搭載画像検査装置をラインアップしています。タッチパネルでの設定切替やAIトリガ、OK品1枚で登録できる学習機能など、立上げのしやすさと運用性を重視し、ハーネスカラー検査や端子未挿入・欠品検出の効率化に対応します。

高度技術研究所

光計測技術をベースに独創的な技術・システムの創生を目指す研究開発型企業です。レーザ光の干渉性・指向性を活かした“光アナログ画像処理”の考え方で、COF/TABなど光透過型電子基板を並列・高速に検査する仕組みや、FFT差分法を用いた基板外観検査装置を提案しています。

三菱電機

FA分野で撮像デバイスとAI判定を組み合わせた外観・表面検査ソリューションを提供しています。光源一体型で長尺を一括読取できる表面検査用CISと、プログラミングレスでAI検査を進めやすい外観検査ソフト「MELSOFT VIXIO」により、立上げ負担の軽減とトレーサビリティ向上をサポートします。

ジャステム

新潟県長岡市に拠点を置くジャステムは、半導体や次世代材料の製造を支える精密機械メーカーです。「Just Fit System」を理念に掲げ、汎用機では解決できない顧客固有の課題に対し、オーダーメイドの装置を提供。シリコンウェーハ製造で培った高度な知見を活かし、最適な自動化・測定ソリューションを実現します。

山下電装

東京都八王子市に拠点を置く山下電装は、光技術を専門としているメーカーです。光技術とそれを安定駆動させる電源技術の高度な融合を強みとし、特定の業界標準に縛られない最適なソリューションを提供。日本古来の「魔鏡」の原理を応用した非接触・非破壊の表面欠陥検査装置などを展開しています。

東レエンジニアリング

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社(TASMIT)は、2000年に設立された東レグループの企業です。半導体ウェーハの外観検査分野を中心に事業を展開しており、光学式ウェーハ外観検査装置「INSPECTRA®シリーズ」を中核製品として提供しています。同シリーズは独自開発の「良品学習アルゴリズム(DSI比較法)」を搭載し、高速かつ高感度な検査を実現している点が特長です。

YGK

株式会社YGKは、1994年に山梨県南アルプス市で設立された半導体検査装置メーカーです。主力製品であるウエハ表面パーティクルスキャナは量産ラインでの使用を前提とし、シリコンなどの不透明ウエハからガラスやサファイアなどの透明ウエハまで幅広く対応可能。プロセスモニターや洗浄確認用途など、半導体製造工程における品質管理をサポートしています。

ライオンエンジニアリング

ライオンエンジニアリング株式会社は、東京都台東区に本社を置き、画像処理装置の開発において30年以上の実績を持つメーカーです。医薬品製造や食料品分野での技術の蓄積を強みとしており、特に「顆粒剤異物検査装置」では一定のシェアを確立しています。自社ブランドの専用機だけでなくニーズに合わせたOEM供給も展開しており、顆粒剤や各種チューブ、フィルムなど多岐にわたる対象物から極小異物やピンホール、シール不良などを高精度に検出します。

東京マシンヴィジョンシステム

東京マシンヴィジョンシステムは、製造ラインに組み込まれるインライン型自動外観検査システムの開発・製造・販売を行うメーカーです。独自の検査アルゴリズムとAI(ディープラーニング)による異常検知を組み合わせることで、従来のルールベースでは困難だった「曖昧な欠陥」の検出と過検出の抑制を両立させています。リチウムイオン電池や半導体、有機ELパネルなど極めて高い品質基準が求められる業界での導入実績が豊富で、歩留まり改善や検査の自動化を強力にサポートします。

テクノス株式会社

テクノス株式会社は、目視の代わりとなる自動外観検査システムの開発・製造を行うメーカーです。人間の神経細胞機能を電子回路に応用した独自技術を採用することで、従来の検査装置では困難だった「微細なキズ」の検出と低コントラストな色ムラへの対応を高い精度で両立させています。自動車や鉄、半導体など極めて高い品質基準が求められる業界での導入実績が豊富で、確実な検査の自動化や品質向上を強力にサポートします。

株式会社安永

株式会社安永は、半導体ICパッケージ向けの外観検査装置で国内トップシェアの実績を持つメーカーです。同社は光学環境の検討から独自のアルゴリズム開発まで、一貫して提案できる高い技術力を備えています。2Dや3D計測技術を活用することで、微細な傷や足曲がりなどの欠陥を正確に検出します。車載部品や半導体など極めて高い品質基準が求められる業界で、生産性の向上と確実な品質保証を強力にサポートします。

株式会社デクシス

株式会社デクシスは、設計から運用まで自社で対応する一貫体制を持つ外観検査装置のメーカーです。同社は独自の特許技術を活用し、医薬品の液中異物検査など精度の高い判定を実現します。独自の画像処理技術により、製品の凹凸や刻印に左右されず微細な欠陥を正確に検出します。複雑な検査工程の自動化が求められる現場で、検査品質の安定と確実なサポートを提供します。

池上通信機株式会社

池上通信機株式会社は、放送用カメラで培った画像処理技術を産業用に応用するメーカーです。微細な欠陥を高精細に検出し、カメラシステムを構築できるため、小規模から大規模なラインまで柔軟に対応可能です。シートや錠剤の高速生産ラインにおいて、見落としやすい欠陥を見つけ出します。確実な品質保証と生産性の向上を強力に支援します。

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検査対象で選ぶ
表面欠陥検査装置メーカー3選
無地面の表面欠陥検査なら
ナガセテクノエンジニアリング
ナガセテクノエンジニアリング公式HP
引用元:ナガセテクノエンジニアリング公式HP
(https://group.nagase.com/nte/scantec/)
二次電池
電極シート
FPD用
フィルム
ガラス
金属
OPCドラム
化学・機能性
フィルム
微細な欠陥への高分解能
利便性を追求した
カスタマイズに強み
  • 長年培ってきた光学技術と画像処理技術をはじめ、多彩なフィルター機能やシェーディング補正機能など独自の技術により、表面状態に関わらず微細な欠陥を高精度に検出できる。
  • 検査条件を 2 つ並列で処理できる装置に加え、顧客向けに画像処理ソフトの開発・カスタマイズに対応。手間を省いた効率的な検査ができる。
印刷面の表面欠陥検査なら
ダックエンジニアリング
ダックエンジニアリング公式HP
引用元:ダックエンジニアリング公式HP
(https://www.dac-eng.co.jp/)
枚葉・紙
段ボール
シール・
ラベル
軟包装・
ウェブ
製袋
グラビア
50年の画像検査実績で培った
印刷面検査に精通した
ラインアップ
  • 印刷面の種類ごとに特化した幅広い検査装置を揃えており、自社にピッタリな装置を導入できる。
  • 1975年から画像検査に取組み、培った経験から開発された使いやすい装置。
  • 箔デザインなど特殊な印刷面にも対応でき、印刷面の色・デザイン・文字が変わってもスムーズに運用できる。
ウェーハ表面欠陥検査なら
日立ハイテク
日立ハイテク公式HP
引用元:日立ハイテク公式HP
(https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/)
シリコン
ウェーハ
SiC
ウェーハ
ハード
ディスク
磁気ヘッド
新技術で微小欠陥を捉える
先端のシステムが揃う
  • 高出力・短波長レーザー、キラー欠陥(DOI)を捉える光学システム、散乱光データ処理アルゴリズム改善をしたシステムなどで、微小欠陥を検出。半導体の微細化に対し高いレベルの品質向上が図れる
  • 多様なアプローチの検査装置が揃い、目的のウェーハ検査が高確度で実現できる。

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