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株式会社三明

製造現場において、製品の品質向上や歩留まり改善は常に重要な課題です。とくに半導体や透明体の製造プロセスでは、微細な欠陥が製品の性能を大きく左右するため、高精度な外観検査が不可欠です。しかし、従来の目視検査では限界があり、検査タクトの長期化や見落としのリスク、さらには内部欠陥の発見が困難といった課題が存在します。そこで注目されるのが、1928年の創立以来、長年にわたり製造業を支え続けてきた株式会社三明の検査システムです。

本記事では、特殊な光学系と独自の画像処理技術を駆使して、ナノオーダーの欠陥検出を高タクトで実現する同社の「表裏面内部凹凸欠陥検査装置 MuraViewerⅡ」について詳しく解説します。次世代の製造ラインにおける検査の自動化や歩留まり向上を検討されている方は、ぜひ参考にしてください。

株式会社三明の概要と特徴

株式会社三明は、1928年に創立された歴史ある企業であり、「人間関係を大切にした営業力」を強みに、次世代の製造業を見据えたビジネスモデルを展開しています。同社はグループホールディングカンパニーとして機能し、制御エレクトロニクスを担う「三明電子産業」と、装置メカニクスを担う「三明機工」のグループ2社を開発・製造拠点としています。
これにより、製品単体の販売にとどまらず、製造工場の現場に寄り添ったシステム提案や自動化ソリューションを提供できる点が大きな強みです。独自の複合立体画像処理やAI技術を用いた高精細な外観検査装置を開発し、製造現場での検査タクト短縮と確実な歩留まり向上に貢献しています。

検査可能な対象と検出可能な欠陥

三明の検査装置は、光を反射する鏡面体(非透明体)から、光を透過する透明体まで幅広いワークに対応しています。特殊な光学系を採用することで、表面だけでなく裏面や内部の微細な状態までも可視化できるのが特徴です。透明体の内部にある脈理や結晶欠陥を目視で簡単に評価できるほか、接合ウエハーにおいては表裏両面と接合面を一度に観察でき、検査タクトの大幅な短縮を実現します。

株式会社三明の製品一覧

表裏面内部凹凸欠陥検査装置 MuraViewerⅡ

MuraViewerⅡは、非透明体(鏡面体)の表面欠陥に加え、透明体の表面・内部・裏面の欠陥を一台で検査できる外観検査装置です。広視野撮像とタイリング技術によって、従来の検査装置では困難であったナノオーダーの微小欠陥を高タクトで検出・可視化します。さらに、複合立体画像処理と欠陥抽出処理を組み合わせることで、欠陥だけを立体的に浮き上がらせることが可能です。
また、数値化処理やAI技術による解析を搭載しており、自動化検査にも対応しています。研究開発向けのコンパクトなモニタ表示顕微鏡タイプから、自動搬送機構を組み合わせたカセットtoカセット対応の量産向けフルオートタイプまで、要望に合わせた構成で導入できる点が魅力です。

表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の効率化を図りましょう。

まとめ

株式会社三明は、長年培ったノウハウとグループ力を活かし、単なる装置メーカーにとどまらないトータルソリューションを提供しています。「MuraViewerⅡ」に代表される同社の外観検査装置は、特殊な光学技術とAI・画像処理技術を融合させ、これまでは見過ごされがちだった微細な凹凸や内部欠陥を高精度に検出可能です。表面粗さの管理や研磨条件の最適化、蒸着後の歩留まり向上に直結するため、目視検査からの脱却やインラインでの全数自動検査を検討中の企業にとって、非常に有効な選択肢となります。お手持ちのサンプルを用いたテストも可能なため、まずは一度問い合わせてみることをおすすめします。

株式会社三明の会社情報

社名 株式会社三明
所在地 静岡県静岡市清水区松原町6-16
設立 1928年4月
公式サイト https://www.sanmei.co.jp/
 
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微細な欠陥への高分解能
利便性を追求した
カスタマイズに強み
  • 長年培ってきた光学技術と画像処理技術をはじめ、多彩なフィルター機能やシェーディング補正機能など独自の技術により、表面状態に関わらず微細な欠陥を高精度に検出できる。
  • 検査条件を 2 つ並列で処理できる装置に加え、顧客向けに画像処理ソフトの開発・カスタマイズに対応。手間を省いた効率的な検査ができる。
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  • 1975年から画像検査に取組み、培った経験から開発された使いやすい装置。
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新技術で微小欠陥を捉える
先端のシステムが揃う
  • 高出力・短波長レーザー、キラー欠陥(DOI)を捉える光学システム、散乱光データ処理アルゴリズム改善をしたシステムなどで、微小欠陥を検出。半導体の微細化に対し高いレベルの品質向上が図れる。
  • 多様なアプローチの検査装置が揃い、目的のウェーハ検査が高確度で実現できる。

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