ナノ・ソルテック

ナノ・ソルテックは、半導体や電子デバイスなど先端エレクトロニクスの製造に関わる装置やサービスを提供している企業です。新規の自社製品の販売から、中古半導体検査計測・製造装置の取り扱いまで、幅広く事業を展開しています。自社の歩留まり改善やパーティクル管理のため、検査装置をお探しの方はぜひ参考にしてください。

ナノ・ソルテックの概要と特徴

ナノ・ソルテックは、適切な装置と安価なサービスの提供を通じ、お客様のニーズに応えるアイデアを提案することを経営方針としています。

大きな特徴は、新規の自社製品だけでなく、中古製品の取り扱いも行っている点です。また、メーカーサポートが終了したパーツの提供など、顧客の「困った」に柔軟に対応する特徴的なサービスを展開しています。これにより、コストを抑えつつ既存の設備を長く運用したいという生産技術や品質管理の現場において、心強いサポートとなることが期待されます。

検査可能な対象と検出可能な欠陥

ナノ・ソルテックの提供する装置は、製造工程において発生する微細な異物を的確に把握し、製品の品質低下を防ぐための管理に役立ちます。以下の対象や欠陥の検出において、優れた性能を発揮します。

• 検査可能な対象
  2〜12インチのノンパターンウェーハなど
• 検出可能な欠陥
  パーティクル、微細な異物、欠陥の形状や状態など

ナノ・ソルテックの製品一覧

ウエハ表面パーティクル検査装置

ウェーハの表面に付着したパーティクル（微粒子）を検査するための装置です。2インチから12インチまでのノンパターンウェーハに対応しており、幅広いサイズのウェーハにおいて高精度な検査が可能とされています。生産ラインにおける汚染状況をモニタリングし、品質の安定化に貢献します。

光学式高性能顕微鏡「NRS2000」

ウェーハ上の異物や欠陥を詳細に観察・レビューするための光学式高性能顕微鏡が「NRS2000」です。検出された欠陥の形状や状態を詳しく確認できるため、どのような不具合が発生しているかを正確に把握するのに役立ちます。

欠陥データ管理システム（Mirero/Data Manager）

検査装置で取得した欠陥データを効率的に管理・分析するためのシステムです。データの蓄積や傾向の把握を支援し、品質管理プロセス全体をサポートします。検査装置と組み合わせて導入することで、歩留まり改善へのより具体的なアプローチが可能になるでしょう。

まとめ

同社は、ウェーハ表面パーティクル検査装置や光学式高性能顕微鏡などの自社製品を提供するだけでなく、中古装置の取り扱いやサポート終了パーツの提供など、現場の課題に寄り添ったサービスを展開しています。

自社の歩留まり改善や、検査装置（新規・中古）の導入を検討されている場合は、ぜひ一度ナノ・ソルテックへ問い合わせや相談をしてみてはいかがでしょうか。

ナノ・ソルテックの会社情報