アローズエンジニアリング株式会社

アローズエンジニアリング株式会社は、主に半導体業界に向けて技術を支える製品やソリューションを提供する企業です。ウエハエッジ外観自動検査機や落雷対策としての瞬時電圧低下保護装置（VSP）、さらには半導体装置周辺機器の設計・修理など、製造現場の課題を解決するための幅広い事業を展開しています。

本記事では、アローズエンジニアリング株式会社の概要や強みに加え、主力製品の特徴、会社情報などを詳しく解説します。導入を検討されている方は、ぜひ比較検討の参考にしてください。

アローズエンジニアリング株式会社の概要と特徴

アローズエンジニアリング株式会社は、1986年の創設以来、千葉県を拠点として日本の技術を支える半導体装置設備関連事業を展開しています。常に変化するお客様のニーズを的確に捉え、スピーディーな課題解決をサポートする体制が強みです。

また、ハード面の環境整備に力を入れており、本社内にはクラス1000のクリーンルームを保有しています。製造や保守、各種工事において高い品質を保つための環境を整えるとともに、半導体技術者の育成にも注力し人的要素と設備面の両方から顧客の要望に即応できる質の高いサービス体制を構築しています。

検査可能な対象と検出可能な欠陥

アローズエンジニアリング株式会社の提供する検査機器や保護装置は、製造現場の精密な要求に応える独自の技術が反映されています。対応可能な検査対象や技術的な強みは以下の通りです。

• ウエハエッジ外観自動検査における対応欠陥（傷・異物・チップ・クラックなど）
• 長年にわたる半導体装置設備関連事業で培われた高度な知見と技術力

アローズエンジニアリング株式会社の製品一覧

ウエハエッジ外観自動検査機

ウエハエッジ外観自動検査機は、ウエハのエッジ部分に生じた傷、異物、チップ、クラックなどの欠陥を自動で検査する高精度な装置です。メリットは、ウエハの搬送時間を含めても1枚あたり30秒という高速検査を実現している点です。
さらに、新規機能が追加され操作性が向上しているほか、コンパクトかつ省電力設計となっているため、クリーンルーム内など限られたスペースへの導入やランニングコストの抑制を重視する現場にも適しています。

瞬時電圧低下保護装置（VSP）

瞬時電圧低下保護装置（VSP）は、落雷や送電線の設備事故などによって引き起こされる「瞬低（瞬時電圧低下）」から、すべての機器を保護するための装置です。電気二重層コンデンサー（EDLS）を採用しているため、バッテリーレスで約13〜15年の長寿命を実現し、メンテナンスフリーで運用できるのが大きな特徴です。
瞬低発生からわずか0.001秒（1ms）という高速で検出・バックアップを行うため、生産設備の停止やシステムシャットダウンといった甚大なトラブルを未然に防ぎ、工場の安定稼働に貢献します。

まとめ

アローズエンジニアリング株式会社は、半導体業界の最前線で培われた技術力を活かし、ウエハエッジ外観自動検査機や瞬低保護装置（VSP）といった高性能な製品を提供しています。これらの製品を導入することで、製造工程における微小な欠陥の見逃しを防ぎ、歩留まりの改善が期待できます。また、落雷などの自然災害による不意の設備停止リスクを回避できるため、製造現場の安全性と生産効率の向上に大きく貢献するでしょう。

アローズエンジニアリング株式会社の会社情報