丸文株式会社は、1947年設立のエレクトロニクス技術専門商社として、半導体・電子部品から検査・測定機器まで幅広いソリューションを提供してきた企業です。表面欠陥検査分野では、ガラスやシリコン、化合物ウェハを対象に、広エリアのマクロ検査からナノ領域のミクロ解析まで一貫して提案できる点が大きな特徴です。独自の光学技術を活かした外観検査装置や非接触形状計測センサにより、微小欠陥や反り・厚みの高精度評価を実現し、用途に応じてマニュアル機から全自動機まで柔軟にシステム構成を提案できる技術商社として、製造現場の品質・歩留まり向上を強力に支援します。
丸文が提供する表面欠陥検査装置シリーズの最大の魅力は、高速処理能力です。広エリアのマクロ検査を短時間で完了し、生産ラインのスループットを大幅に向上させます。例えば、ガラスや化合物、シリコンウェハなどの対象に対し、ナノレベルの微小欠陥をリアルタイムで検出可能です。歩留まり向上に直結します。また、ロット検査データを統計処理し、ウェハ割れの原因を早期に究明可能です。
機能性面では、独自の光学技術を活用した非接触形状計測センサが注目したいポイントです。マイクロクラック、傷、異物、汚れに加え、厚みムラや反りなどの形状異常を高精度で評価します。従来の接触式検査では難しかった多角的な品質管理を実現し、非破壊で信頼性の高いデータを提供可能にする機能です。
カスタマイズ性の高さも強みのひとつ。用途に応じてマニュアル機から全自動機まで柔軟にシステムを構築可能で、既存ラインへの統合も容易です。装置更新時の投資効率を高め、製造現場の競争力を強化します。
丸文は半導体・電子部品から計測・検査機器まで幅広いエレクトロニクス製品を取り扱っています。主力の半導体・電子部品カテゴリでは、アンプ、オペアンプ、マイコン、電源、センサ、メモリ、ディスクリート素子、受動部品などを網羅し、RF・マイクロ波や無線インターフェイスも充実しています。
計測・検査分野では、表面欠陥検査装置や形状計測センサを提案。ウェハのクラック・傷検出から非接触厚み・反り測定まで対応します。また、ICTソリューション、組立・ロボティクス、レーザー・光学部品、組込コンピュータ、医療機器なども扱い、製造業のDXや品質向上をトータルサポートします。用途に応じたカスタマイズが可能で、開発委託やメンテナンスサービスも提供しています。
ウェハクラック検出システムMHS-300は、シュリーレン画像外観検査装置として、ウェハ薄加工後の歩留まり改善に最適です。金属顕微鏡では発見困難なパターン面の極小クラックや研磨痕を、広視野で高速検出可能で、BG薄加工後のウェハ裏面検査にも対応します。
ウェハ1枚ごとの画像データ保存により、後工程でのレビューが容易で、ロット検査データを統計処理しウェハ割れの早期原因特定を実現します。オプションで基板搭載チップ観察や視野切り替え（マクロ/ミクロ）に対応し、12〜4インチウェハおよびダイシングフレーム（前後）状態での観察が可能です。
シュリーレン撮像法を活用し、表面微小凹凸を輝度差で強調表示するため、小さな欠陥を見逃さず、NG品流出防止に寄与します。
各種ウェハの表裏面およびエッジ・ノッチ部に対し、独自の光学技術で、顕微鏡でも見つけにくい微小欠陥や緩やかな凹凸を検出できます。鏡面だけでなく、エッチング面やBG痕など粗さのある面に潜むキズ、クラック、汚れ、スリップ、結晶欠陥、面焼け、研磨痕、膜残りといった多様な欠陥を一括で把握できます。
さらに、エッジ専用の特殊光学系により全周を高速かつ高品位な画像で取得し、シルエット画像で形状評価を行いながら、ノッチ部の欠陥検出も可能です。貼り合わせウェハのズレ量や直径、トリミング幅、ノリはみ出しといった貼り合わせ特有の測定にも対応し、プロセス全体の品質管理を強力に支援します。
ウェハや樹脂、支持基板、SiC・GaN・サファイアなどの化合物材料を対象に、厚み・形状・反りを非接触で高速かつ高精度に測定可能です。ポイント計測や任意座標指定計測、X-Yラインスキャンに加え、高いサンプリングレートを活かしたマッピング機能により、2次元・3次元データとして面内の状態を直感的に把握できます。
中核となる色収差共焦点方式のCHRocodileシリーズは、最小スポットサイズ6µm、最大分解能50nmクラスの性能で微細形状を捉え、影の影響を受けにくく複雑形状の3Dインライン検査にも有効です。
用途に応じてマニュアル機から全自動機までシステム提案が可能で、ウェハ表面欠陥検査装置と組み合わせることで、欠陥検出と形状計測を一気通貫で行える計測ソリューションとして製造現場の品質管理を支援します。
表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。
具体的な使用例は、公式サイトに記載がありませんでした。
光学フィルム・樹脂・保護フィルムなど
表面欠陥検査装置カスタマイズ事例を見る
丸文が提供する表面欠陥検査装置は、ガラスやシリコン、化合物ウェハを対象に、マクロからナノレベルまで幅広い欠陥検出と形状計測を一貫して行える点が大きな特長です。高速な広エリア検査により生産性を高めつつ、微小クラックや凹凸、反り・厚みムラまで非接触で高精度に評価でき、歩留まり向上と不良流出防止に貢献します。
さらに、検査データの蓄積・解析による原因究明や工程改善にも活用可能です。用途や工程に応じたカスタマイズ性も高く、複数装置を組み合わせた最適な検査フローを構築できます。マニュアル機から全自動機まで柔軟なシステム構築が可能で、既存ラインへの導入や将来的な拡張にも対応しやすく、品質管理体制を総合的に強化できる点が導入メリットです。
| 本社所在地 | 東京都中央区日本橋大伝馬町8-1 |
|---|---|
| 設立 | 1947年7月 |
| 問合せ先 | 03-3639-9801(代) |
| 公式サイト （製品サイト） |
https://www.marubun.co.jp/ （https://www.marubun.co.jp/products/8843/） |
