表面欠陥検査装置メーカーNavi~SurfEYE
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高度技術研究所

目次
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高度技術研究所の概要と特徴

RIAT(高度技術研究所)は、光計測技術をベースに独創的な技術・システムの創生を目標とする研究開発型企業です。光の特性を利用した光学的処理の考え方を背景に、装置や技術シーズを公開。たとえばCOF/TABなど光透過型電子基板を、光学的な差分処理で並列・高速に検査する仕組みを紹介しており、オンライン検査を想定した提案が特徴です。

検査可能な対象と検出可能な欠陥

高度技術研究所が提供する検査装置の利点

RIATの検査系装置は、レーザ光の干渉性・指向性を活かした独自の“光アナログ画像処理”を核に、計算機処理だけに頼らず高速に欠陥をあぶり出す発想が利点です。光透過型電子基板(COF/TAB)向けでは、透過照明で欠陥を判別し、高速に検査できると説明。可干渉性レーザの平行光で生じる回折パターンを取り込み、良品パターンとの差を光学的に作ってフーリエ変換し、欠陥像を抽出する方式を紹介しています。

光学処理を並列に行えるため、オンライン検査を視野に入れた提案になっている点も特徴です。プリント基板外観検査「Tiger Eye」では、FFT差分法と適合カラー照明で不良流出の抑制を狙い、CADデータ不要・基準画像を短時間(約20秒程度)で作成できる点を訴求。マルチカメラ型(FT1-01)とシングルカメラ型(FT1-02)を用意し、設置条件やコストに合わせて選べます。

高度技術研究所の製品一覧

レーザ位相差顕微鏡 FTM1(FourierTunerMicroscope1)

レーザ位相差顕微鏡 FTM1(FourierTunerMicroscope1)
引用元:高度技術研究所 公式サイト
http://www.riat.co.jp/products04.html

FTM1は、従来のツェルニケ型位相差顕微鏡とは異なり、コヒーレントな平行レーザ光照明によって「干渉による濃淡画像化」を実現すると説明されています。透明位相物体の振幅画像化におけるコントラスト最適化機能を組み込み、ハロ現象(Halo artifact)を抑えながら、細胞内構造などの形状・大きさをハイコントラストで観察できる点が特徴です。

観察例として微粒子や細胞核内の観察に触れており、対象の“見え”を整えながら評価を進めたい場面で、光学処理の考え方を活かしたアプローチとして検討材料になります。光学系の工夫で情報を引き出す思想は、検査・計測の前工程の観察品質にもつながりやすいポイントです。

PPHホログラム自動作成装置

PPHホログラム自動作成装置
引用元:高度技術研究所 公式サイト
http://www.riat.co.jp/products02.html

PPHホログラム自動作成装置は、立体写真を作るためのホログラム記録装置として紹介されています。暗室や除振台などの設備が不要で、その場で現像できる点を大きな特長とし、準備から作成までのリードタイム短縮を狙った提案です。

用途例として、物体の微小振動や形状変化の把握、形や文字の即時認識などが挙げられています。教育用途(教材)から、画像解析・並列識別など幅広い応用可能性にも触れており、光学的処理を活かした“その場で結果を得る”運用を検討しやすい装置として位置づけられます。

プリント基板外観検査装置「FT型 Tiger Eye」(FT1-01/FT1-02)

プリント基板外観検査装置「FT型 Tiger Eye」(FT1-01/FT1-02)
引用元:高度技術研究所 公式サイト
http://www.riat.co.jp/products01.html

「Tiger Eye」は、画像フーリエ変換(FFT)差分法と「適合カラー照明」を核にしたプリント基板外観検査装置です。マルチカメラタイプのFT1-01に続き、シングルカメラタイプのFT1-02を開発・販売した旨が記載されています。

CADデータ不要で多品種に対応でき、基準画像を短時間(約20秒程度)で作成できる点が特徴。FFT画像の性質を利用して位置決め精度の要求を緩和し、調整時間の短縮につながる、と説明されています。段取り替えが多い基板検査で、基準作成や調整の負担を抑えたい場合に検討しやすい構成です。

表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。

使用例

製品が実際に導入されている使用例はありませんでした。

光学フィルム・樹脂・保護フィルムなど
表面欠陥検査装置カスタマイズ事例を見る

まとめ

高度技術研究所(RIAT)は、レーザ光の干渉性・指向性を活かした“光アナログ画像処理”を軸に、欠陥を高速に抽出する発想を提示しています。COF/TABなど光透過型電子基板の検査では、光学的な差分処理を並列に行い、オンライン検査も見据えた提案が特徴です。基板外観検査「Tiger Eye」ではCADデータ不要や基準画像の短時間作成を訴求。処理負荷や段取りの課題を整理しながら、光学処理を活かした検査方式を検討したい現場の選択肢になります。

高度技術研究所の会社情報

本社所在地 茨城県ひたちなか市東石川 3543-2(本社・研究所)
創立 1996年4月25日
問合せ先 029-219-6955(TEL & FAX)
公式サイト http://www.riat.co.jp/
 
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微細な欠陥への高分解能
利便性を追求した
カスタマイズに強み
  • 長年培ってきた光学技術と画像処理技術をはじめ、多彩なフィルター機能やシェーディング補正機能など独自の技術により、表面状態に関わらず微細な欠陥を高精度に検出できる。
  • 検査条件を 2 つ並列で処理できる装置に加え、顧客向けに画像処理ソフトの開発・カスタマイズに対応。手間を省いた効率的な検査ができる。
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  • 1975年から画像検査に取組み、培った経験から開発された使いやすい装置。
  • 箔デザインなど特殊な印刷面にも対応でき、印刷面の色・デザイン・文字が変わってもスムーズに運用できる。
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引用元:日立ハイテク公式HP
(https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/)
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