東京エレクトロンデバイス

東京エレクトロンデバイスの概要と特徴

東京エレクトロンデバイス株式会社は、半導体や電子機器分野における技術商社です。設計・量産受託サービスと自社開発商品を組み合わせた幅広い事業を展開しています。1986年の設立以来、半導体製品や評価ボード、組込みモジュール、検査・計測機器などを提供し、顧客の開発・製造を総合的に支援するソリューション力が強みです。自社ブランド「inrevium（インレビアム）」では、独自技術を活かした製品開発を推進し、課題解決と価値創出に貢献しています。豊富な技術力とマーケティング力により、グローバルな顧客ニーズに応えるサービスを提供しています。

検査可能な対象と検出可能な欠陥

• 検査可能な対象
  シリコンウェーハ、Siエピウェーハ、SiC（シリコンカーバイド）ウェーハ、LT/LN 、ガラスウェーハ　など
• 検出可能な欠陥
  スクラッチ、クラック、ディンプル、チッピング、突起、パーティクル、汚れ・異物付着、色ムラ、研磨痕、スリップ、ヘイズ、ピンホール、貫通孔など

東京エレクトロンデバイスが提供する検査装置の利点

東京エレクトロンデバイスが提供する検査装置シリーズの大きな利点は、高速処理性能・高い機能性・柔軟なカスタマイズ性を高い次元で両立している点です。独自設計の光学系やセンサ技術、画像処理アルゴリズムを採用することで、微細欠陥を安定して検出しながらもスループットを確保でき、生産性向上に貢献します。

表面・裏面・エッジなど複数領域を1台で検査できる構成や、欠陥種類ごとの判定条件設定、画像保存・解析機能など、現場ニーズを考慮した機能が充実しています。さらに、検査対象材料や工程条件に応じた仕様変更やソフトウェア調整など、装置のカスタマイズにも柔軟に対応できる点が魅力です。研究開発用途から量産ラインまで幅広い工程で導入しやすく、品質管理の高度化と検査業務の効率化を同時に実現できます。加えて、装置導入後の技術サポート体制も整っており、安定した運用と継続的な改善を支援できる点も、シリーズ全体の強みと言えます。

東京エレクトロンデバイスの製品一覧

東京エレクトロンデバイスは、半導体・電子機器分野を中心に、計測・検査機器、組込み製品、半導体デバイス、設計・量産受託サービスまで幅広く取り扱う技術商社です。自社ブランド「inrevium」を通じて、検査装置や評価ソリューションなどの自社開発製品を展開するとともに、国内外の優良メーカー製品を組み合わせた提案を行っています。ウェーハ検査、パワー半導体、MEMS、光デバイスなど多様な分野に対応し、研究開発から量産工程までを視野に入れた製品ラインナップが特徴です。単なる製品提供にとどまらず、用途や工程に応じた技術サポートやカスタマイズに対応しています。

Si ウェーハ 欠陥検査装置

引用元：東京エレクトロンデバイス公式サイト
https://www.inrevium.com/product/macro_optical_inspection/

Si ウェーハ欠陥検査装置は、シリコンウェーハの表面および裏面の微細な欠陥を高速・高感度に検出する光学式検査装置です。専用開発した超低ノイズ光学センサと照明により、スクラッチやクラック、パーティクルなどの欠陥を効率よく検出し、従来の目視・抜き取り検査に代えて全数自動検査を実現します。また、装置は1台で表裏面・エッジ検査が可能で、検査データや画像の保存・トレーサビリティ管理も可能です。ベアウェーハとパターン付きウェーハの両方に対応し、工程内検査や最終外観検査に適しています。

SiCウェーハ 欠陥検査装置

引用元：東京エレクトロンデバイス公式サイト
https://www.inrevium.com/product/sic-wafer-inspection/

SiCウェーハ／SiCエピウェーハの外観検査に特化した光学式検査装置です。電力制御用途のパワー半導体需要の高まりに対応し、Si向け装置技術を基にSiCの特性に最適化されています。専用ラインセンサーカメラによる高速・高感度スキャンで、表面・エピ面・面内・裏面・エッジの欠陥を正確に検出・分類できます。また、色ムラ（ポリタイプ）など従来検査が困難だった欠陥も検知可能です。1台で表裏面・端面のマルチ検査ができます。

マスクブランクス 欠陥検査装置

引用元：東京エレクトロンデバイス公式サイト
https://www.inrevium.com/product/mask-brancks-inspection/

フォトマスク製造前工程で用いられるマスクブランクス基板の外観品質を高精度に評価する光学検査装置です。高感度カメラと独自の照明技術により、ガラス基板表面の微小なパーティクル、スクラッチ、欠け、汚れなどを安定して検出します。透過・反射の両方式に対応し、欠陥の種類や位置を正確に把握できるため、後工程での不良リスク低減に貢献。自動検査による全数チェックが可能で、検査品質の均一化と作業効率の向上を実現します。

使用例

具体的な使用例は、公式サイトに記載がありませんでした。

光学フィルム・樹脂・保護フィルムなど
表面欠陥検査装置カスタマイズ事例を見る

まとめ

東京エレクトロンデバイスの検査装置を導入する最大のメリットは、高品質な検査を安定して効率化できる点にあります。高速処理と高感度検出を両立した装置構成により、微細欠陥を確実に捉えながらスループットを確保でき、検査工程の生産性向上に貢献します。表面・裏面・エッジなど複数領域を1台で検査できるため、装置集約や工程簡素化にもつながります。また、検査条件の細かな設定やデータ保存・解析機能により、検査結果の可視化やトレーサビリティ強化を実現可能。検査対象や工程に応じた柔軟なカスタマイズや技術サポートにより、研究開発から量産まで幅広い用途で導入しやすく、品質管理レベルの向上と検査業務の標準化を同時に進められる点も大きな魅力です。

東京エレクトロンデバイスの会社情報