ばね製造が祖業のタカノは、培ってきた独自の金属加工技術を基盤として、福祉・医療機器やオフィス家具、エクステリアなど多岐にわたる事業に展開しています。半導体デバイスの生産に欠かせないウェーハ表面検査装置は、ナノレベルの異物の検出も可能です。
タカノの表面欠陥検査装置は、スリット光を活用したユニークな光学系を採用。独自の検出アルゴリズムによりノイズを低減させ、微細な傷や異物、凹凸などを高精度に検出します。また、さまざまな大きさや形状の対象物に対応。高速な生産ラインにも対応できる高速検査も特徴です。
ZEBBRAは、これまで同時に実現させられなかった検出力、汎用性、経済性を一つの光学ユニットで実現しています。
さまざまな大きさや形状の対象物に対応可能な上、表裏同時検査も可能。柔軟な設備設計を実現しています。
また、凹凸のある金属表面やしわになりやすいフィルムも幅広く検査できます。
スリット光で表面を走査、反射光を検出することで欠陥を検出する方式の独自の光学系を採用したことで、ベアウェーハ表面のナノレベルの異物を検出できるのが特徴です。
200ミリまでのウェーハに対応したWM-7Rと300ミリまでに対応したWM-10Rの2種類を展開しています。
半導体ウェーハの外観検査に特化した高性能の検査装置で、配線パターンやクラック、異物混入などを高精度で検査します。
エリア別に精密な検査感度を設定できるほか、カラー画像を活用しており、グレースケールによる検査では検出が難しい欠陥も判別可能です。
表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。
タカノは金属加工技術を基盤に多分野へ展開し、表面欠陥検査装置分野ではナノレベルの異物検出を可能にしています。金属やフィルム、ウェーハなど幅広い対象に対応し、独自の光学系とアルゴリズムで高精度な検査を実現します。
代表的な製品「ZEBBRA」では汎用性と経済性を両立し、表裏同時検査や多様な形状への柔軟対応が可能。さらにウェーハ検査装置「WMシリーズ」「Viシリーズ」ではナノ欠陥検出やパターン異常検出など、半導体分野でも高性能を発揮します。
当サイトでは検査装置選定で重要となる「検査対象別」におすすめしたい企業3選をまとめています。貴社求める導入効果を見極めた選択の参考としてください。
| 本社所在地 | 長野県上伊那郡宮田村137 |
|---|---|
| 創業 | 1941年7月 |
| 問合せ先 | 0265‐85‐3150 |
| 公式サイト （コーポレート公式） |
https://www.takano-kensa.com/kensa/ （https://www.takano-kensa.com/kensa/products/） |
