株式会社YGKは、1994年に山梨県南アルプス市で設立された半導体検査装置メーカーです。主な事業内容は、半導体用ウエハ検査装置の設計・製造・販売で、静電気関連装置やパーティクル検査装置の提供も手がけています。
主力製品であるウエハ表面パーティクルスキャナは、量産ラインでの使用を前提とした設計です。プロセスモニターや洗浄確認用途での活用が想定されており、半導体製造工程における品質管理に役立てられています。
主要取引先には信越化学工業、ディスコ、ソニーセミコンダクタ、デンソーなどが名を連ねており、半導体業界で一定の実績を有する企業です。
YPI-MXは、量産ライン向けに設計されたスタンダード機です。自動搬送タイプを採用しており、対応ウエハはシリコン・膜付ウエハ・GaAs・InPで、サイズは2〜8インチに対応しています。
外観寸法はW1480×D1220×H1810mm、電源はAC200V、真空は2系統（-70kPa / -40kPa）です。オプション選択が豊富に用意されており、プロセスモニターや洗浄確認に適した構成となっています。
透明ウエハ対応のYPI-MXは、ガラス・石英・LT/LN・サファイアなどの透明素材に加え、シリコンをはじめとする不透明ウエハにも対応可能です。透明ウエハ表面の異物検査に適した設計で、半導体以外の素材を扱う製造現場でも導入しやすい仕様となっています。
本体の外観寸法や電源仕様はスタンダード機と共通のため、既存の製造ラインへの組み込みもスムーズに進められます。1台で透明・不透明の両方に対応できるため、検査対象の幅広さを求める現場に適した装置です。
表面欠陥検査装置は、目的の検査や対象物に対応しているかで選ぶのが大前提です。
基本性能やコストはもちろん、そのメーカーを選ぶことで
どんなメリットが得られるのかを見極め、導入効果の最大化を図りましょう。
YGKは、ウエハ表面パーティクル検査に特化した装置メーカーです。シリコンから透明ウエハまで幅広く対応できる製品ラインアップを備え、量産ラインでの品質管理をサポートしています。表面欠陥検査装置の選定にあたり、比較検討の参考としてお役立てください。
| 社名 | 株式会社YGK |
|---|---|
| 所在地 | 山梨県南アルプス市 |
| 設立 | 1994年 |
| 公式サイト | https://www.ygkcop.com/ |
